壓力傳感器由于未經(jīng)標(biāo)定的系統(tǒng)只能使用典型的靈敏度和偏移值將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力,測得的壓力將有誤差,這種未經(jīng)標(biāo)定的初始誤差由以下幾個部分組成: 1、線性誤差。這是一個對初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于壓力傳感器硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線。 2、偏移量誤差。由于在整個壓力傳感器量程范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。 3、滯后誤差:在大多數(shù)情形中,滯后誤差完全可以忽略不計,因為壓力傳感器硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。 4、靈敏度誤差,產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果壓力傳感器靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。 說明:標(biāo)定可消除或極大地減小壓力傳感器的這些誤差,而補償技術(shù)通常要求確定系統(tǒng)實際傳遞函數(shù)的參數(shù),而不是簡單的使用典型值。電位計、可調(diào)電阻以及其他硬件均可在補償過程中采用,而軟件則能更靈活地實現(xiàn)壓力傳感器這種誤差補償工作。
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