傳感器在近現(xiàn)代主要的制造工藝有四種，分別是集成傳感器、薄膜傳感器、厚膜傳感器和陶瓷傳感器。
1、陶瓷傳感器
陶瓷傳感器即新工藝的應(yīng)用也是傳統(tǒng)材料的應(yīng)用，陶瓷傳感器所使用的陶瓷材料是精細(xì)陶瓷也被稱為高科技陶瓷，陶瓷傳感器的制造主要是依靠標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或變種的溶膠工藝，完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后，將成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。
2、厚膜傳感器
厚膜傳感器和薄膜傳感器相對應(yīng)，也是在基片上形成膜來進(jìn)行制造，區(qū)別是厚膜傳感器是在陶瓷制造的基片上，用敏感材料的漿料進(jìn)行涂覆。厚膜傳感器的制造材料多是氧化鋁，涂層形成后進(jìn)行熱處理，這樣厚膜即可成型。
傳感器的制造工藝中厚膜傳感器和陶瓷傳感器的生產(chǎn)工藝有很多相通之處，因此也可以將厚膜傳感器制造工藝?yán)斫鉃樘沾蓚鞲衅髦圃旃に嚨囊环N變形。傳感器的各種制造工藝之間并沒有明確的優(yōu)劣之分，各個(gè)制造工藝都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足，但目前厚膜和陶瓷技術(shù)應(yīng)用的更為廣泛。
3、集成傳感器
集成傳感器的生產(chǎn)工藝，和生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)硅基半導(dǎo)體集成電路工藝是基本相同的。傳感器通過集成方式進(jìn)行制造后，可以獲得更小的體積并集成更多的功能，部分集成傳感器可以擁有一部分處理功能，來處理被測量信號(hào)。
4、薄膜傳感器
薄膜傳感器的制造涉及了納米等先進(jìn)技術(shù)，薄膜傳感器的制作方法是在介質(zhì)襯底也就是基板上，用敏感材料形成一層薄膜。薄膜傳感器在制作時(shí)也可以復(fù)合一些電路系統(tǒng)，這需要使用到混合工藝。 |
